D’après pv magazine International
Le fournisseur d’équipements allemand 4JET a dévoilé un nouveau système laser pour le scribing de films minces. Appelé Topaz P1/P2/P3, le nouveau système laser peut être équipé d’une large gamme de sources laser, y compris les lasers nanoseconde, picoseconde et femtoseconde dans les gammes de longueurs d’onde infrarouges, vertes ou ultraviolettes de peut être fait soit du côté du substrat ou du côté du film. L’entreprise revendique un débit de plus de 10 000 substrats par jour avec des temps de cycle de 10 secondes pour 300 lignes de traçage.
La zone de travail peut atteindre 2 400 mm x 1 300 mm, avec une épaisseur de substrat comprise entre 2 et 4 mm. « Les clients peuvent, bien entendu, demander des dimensions spécifiques à l’intérieur de la zone de travail », a déclaré Benjamin Bopp, directeur des ventes chez 4JET, à pv magazine. Selon lui, ses premiers clients utilisent ces nouveaux systèmes dans le cadre d’une ligne de production pilote et plusieurs systèmes sont en commande pour la production de masse.
Le système dispose d’un sous-système laser doté d’un « suivi de trajectoire individuel », qui, selon Benjamin Bopp, est lié à d’autres caractéristiques, telles que l’autofocus individuel et l’équilibrage individuel de la puissance pour chaque faisceau de traitement. « Dans d’autres concepts, il n’y a qu’un seul capteur pour une multitude de faisceaux laser, par exemple, ce qui entraîne des imprécisions de conception. Les faisceaux laser provenant de la source sont divisés en plusieurs faisceaux laser dans la tête de traitement. Comme la division des faisceaux n’est jamais parfaite dans la réalité, il en résulte une distribution inégale de la puissance, et donc des résultats de traçage inégaux », relate Benjamin Bopp.
Les unités laser disposent chacune de leurs propres capteurs, réglages de niveau de puissance et optiques de mise au point. Selon le directeur des ventes, ces caractéristiques permettent une mesure plus précise et un plus grand nombre de points de mesure, ce qui se traduit par un traçage plus précis et plus cohérent et par la possibilité de réduire les zones improductives entre les lignes de traçage, appelées « zones mortes ».
Selon le fabricant, la conception du système présente également l’avantage de pouvoir rapprocher les scribes sans augmenter le risque de croisement, ce qui permet de réduire les imprécisions en termes de position de mise au point et de lignes d’estompage, en particulier sur les bords des modules. La nouvelle solution a une alimentation de 400 Vca, 63 A et un encombrement de 7 500 mm³ x 5 650 mm³ x 2 300 mm³, y compris les périphériques.
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